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①自動化程度高、選擇性好、操作簡單、分析速度快，可同時進行多元素定量分析。從爐中取的樣品隻要打磨掉表麵氧化層，固體樣品即可放在樣品台上激發，免去了化學分析鑽取試樣的麻煩。對於鋁及銅、鋅等有色金屬樣品而言，可用小車床車銑去表麵氧化層，從預燃樣品到得到Z終的分析結果僅需20~30s，速度非常快，有利於冶煉控製，降低成本。特別是對那些容易燒損的元素，更便於控製其Z後的成分。樣品中所有分析元素（幾個甚至幾十個）可以一次同時分析出來。
②元素測試範圍寬，由於PMT或半導體檢測器對信號的放大能力很強，對於強度不同的譜線可以選用不同的方法倍率的PMT或固體檢測器（在使用不同譜線的情況下相差4個數量級，比如普碳鋼中的鉻含量一般為萬分之一水平，而不鏽鋼中的鉻元素含量在10%以上）。因此可以采用同一分析條件對樣品中含量相差懸殊的很多元素從高含量到痕量可同時進行測定。
③分析精度高，能有效控製產品的化學成分，可見昂貴的合金成分控製到產品規格的中下限，儀節省相應合金的消耗。
④檢測限低。直讀光譜法的靈敏度與光源性質、儀器狀態、試樣組成及元素性質等均有關。一般對固體金屬、合金采用火花源時，檢出限可達0.1~10ug/g，對C、S、P等非金屬元素也具有較好的檢出限
⑤在某些條件下，可測定元素的存在方式，如測定鋼鐵中酸溶鋁、酸不熔鋁等。
⑥測量範圍廣，幾乎所有金屬材料都可以檢測，檢測的基體有鐵基、鋁基、銅基、鈷基、鈦基、鎂基、鋅基、鉛基、錫基、金基、銀基鉑基、釕基等。
